硅胶污泥高度化再生利用研究会 污泥
将半导体生产工序中所产生的硅胶废弃物成功的有效利用
- 研究会No.
- 08R67
- 研究年度
- 2008-2009
- 研究代表
- シナジーテック株式会社
- 研究员
- 東芝LSIパッケージソリューション株式会社、株式会社ユアサメンブレンシステム、電気化学工業株式会社、九州工業大学（高須准教授）
- 研究成果
- 研发出了将半导体生产工序中所排出的含有硅胶碎屑的排水进行分离，结合利用膜的固液分离装置，回收含有不使用凝固剂的高纯度硅胶的废渣（污泥）
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