シリコン汚泥高度化リサイクル研究会 汚泥
半導体製造工程から発生するシリコン廃棄物の高度利用に成功！
- 研究会No.
- 08R67
- 研究年度
- 2008年から2009年
- 研究代表者
- シナジーテック株式会社
- 研究会メンバー
- 東芝LSIパッケージソリューション株式会社、株式会社ユアサメンブレンシステム、電気化学工業株式会社、九州工業大学（高須准教授）
- 研究概要
- シリコンウエハーの約9割が研磨屑としてプラスチック屑などの排水とともに凝集沈殿され、スラッジ（シリコン汚泥）として、有効活用されないまま廃棄されている。しかし、シリコン汚泥中のシリコンの純度は高く、その未利用資源から高付加価値の商品（セラミック製品の原料）を新たに生産することリサイクルの推進、ゴミ減量にとどまらず、新たな市場を開拓する。
- 研究成果
- 半導体製造工程におけるシリコン研磨屑が含まれる排水のみを分離し、排水処理用に開発された膜を利用した固液分離装置を組み合わせることにより、凝集剤を使わずに高純度のシリコンを含むスラッジ（汚泥）を回収する技術開発に成功した。回収したシリコン汚泥は、セラミック製品の原料として平成22年から利用されており、未利用資源の再生利用に貢献している。
- 関連リンク